型号

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）

检测原理

热线型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度
（单位：ppm）

砷烷    磷烷    乙硼烷    硅烷    氢气
AsH3    PH3     B2H6     SiH4    H2
0.2     0.3      0.1     0.5     1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10 秒以内